taptap点点 开始销售单晶圆沉积系统 Episode™ 1 和 Episode™ 2 DMR 的通知以及 Episode™ 2 QMR 的发布时间表
东京电子（TEL，东京都港区，总裁：Toshiki Kawai）拥有单晶圆薄膜沉积设备情节TM1 集TM2 DMR 销售开始和剧集TM2 我们谨向您通报 QMR 的发布时间表。
我们正在扩大单晶圆沉积设备的阵容，以满足客户对小型化和 3D 器件以及沉积材料多样化的需求。
Episode 1是一个最多可以安装8个进程模块的平台。为了处理随着客户设备变得更小的所需的复杂处理，可以连续执行多个处理。该设备还包括一个 OPTCURE 模块，可去除硅的自然氧化膜。TM和钛膜形成模块ORTASTM库存充足，正在实现先进逻辑器件中金属布线接触电阻的降低，并将加速新材料沉积工艺的开发，以进一步降低接触电阻。
Episode 2是一个同时运输两片晶圆的平台。该设备实现了高生产率和小占地面积，有助于提高客户工厂的生产率。我们还计划提供一系列具有两种不同概念的工艺模块。
DMR（Duo Matched Reactor）是同时沉积两片晶圆的模块，Trias已被许多存储器件制造商使用e+TM 前IITM系列之后，它配备了支持更多3D设备和高宽高比*的各种新功能。
QMR（Quad Matched Reactor）是一种可同时沉积四片晶圆的模块，并配备了支持等离子体沉积工艺的独特等离子体源，预计市场将不断增长。
第2集QMR计划于2026年发布并量产。
Episode系列配备了以往型号所没有的增强型设备数据采集和边缘信息处理系统，并提供分析应用等，使得提高设备利用率和工程师工作效率成为可能。我们还将通过创建设备运行状态和能源使用信息数据库来减少对环境的影响。
Tokyo Electron 执行官兼 TFF BUGM Shigeki Nakatani 表示：“Episode 系列是长期以来一直采用的 Trias 系列。”e+系列，这是一款单晶圆沉积系统，支持更复杂的沉积工艺，并实现高生产率和高环保性能。
我们将继续开发技术并扩展我们的工艺模块，以满足客户的需求。''
* 纵横比：晶圆上形成的图案的深度与宽度之比
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