taptap点点 开始销售用于第 87 代平板显示器的等离子蚀刻设备 PICP™ EX Plus 和 APX 的通知

　东京威力电子（TEL，东京都港区，社长：河合俊树）是第 87 代^*1我们很高兴地宣布，我们将开始销售“Betelex™2700 PICP™ EX Plus”，它配备了用于高清工艺的新型室 PICP EX Plus，涉及与玻璃基板兼容的等离子蚀刻设备。还有腐蚀^*2我们将开始销售抑制处理单元APX。

　在以IT产品用有机EL为主的第87代显示器的制造中，为了实现高清晰度、高附加值、大面积显示，需要以比以往更高的均匀性和选择性蚀刻大面积的玻璃区域，并且还需要严格的制造控制以抑制腐蚀和防止颗粒。

　为了满足这些市场需求，我们开发了第87代等离子模块PICP EX Plus。除了我们独特的PICP高密度等离子体源实现的高刻蚀性能外，我们还在分布控制、温度控制等方面追求进一步的性能改进，使其能够支持更广泛的器件结构，提高量产稳定性和良率，并降低运行成本。此外，新开发的APX是一种专用模块，可通过独特的方法实现高腐蚀控制，通过进一步提高产量、降低运行成本并提供出色的环保性能，为客户提高生产率做出贡献。

　Tokyo Electron DSS BU Takeo Kiyama（显示器）总经理表示：“随着人们对新型显示器的兴趣不断增加，我们开发了 PICP EX Plus 和 APX，以满足客户对下一代技术的需求。除了先进的蚀刻性能之外，我们还实现了高量产稳定性和良率，为尖端显示器的制造做出了贡献。”

PICP 和 Betelex 是东京电子集团在日本和其他国家的注册商标或商标。

*1 第87代：2290mm x 2620mm玻璃基板尺寸
*2 腐蚀：铝被蚀刻后，由于残留蚀刻气体的影响，铝发生腐蚀。