taptap点点 2025 年 AEC/APC 亚洲研讨会
活动摘要
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活动日期
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2025.11.25〜2025.11.26
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地点
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福冈国际会议中心
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目标
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设备工程师 工艺工程师 机械工程师 软件工程师 人工智能工程师 数据科学家/分析
AEC/APC（先进设备控制/先进过程控制）2025 将于 11 月 25 日至 26 日在福冈举行。
AEC/APC研讨会已成为讨论尖端半导体生产技术的重要国际研讨会，重点关注半导体制造中数据驱动的AEC/APC，是汇聚来自世界各地半导体制造过程控制领域专家的国际会议。
Tokyo Electron (TEL) 自 2011 年以来一直是白金赞助商。除了两名论文委员会成员参加外，今年的研讨会将以“通过领域知识和 AI/ML 融合实现 AECAPC 的演变”为主题，将有 1 名辅导演讲者、2 名口头演讲者和 1 名分会主席。
我们期待您的光临。
11 月 25 日
14:15-14:35,
第 1 节 DA-019
机器学习与设备知识的整合：薄膜沉积数据分析的两种方法
Huizhen Bu，东京电子技术解决方案
16:50-17:10
第二节 DA-020
基于临界点映射算法的SEM图像半自动临界尺寸测量方法
Takahiro Nakamura，东京电子
11 月 26 日
9:50-11:40
第三节课
会议联合主席：Hisato Tanaka，Tokyo Electron / Tomoya Tanaka，Tower Partners Semiconductor
辅导演讲2
11:40-12:25
教程 2
半导体制造中的工艺信息学
Hironori Moki，东京电子
