taptap点点 洗涤NS系列

NS300Z 是一款 300mm 晶圆兼容的洗涤器清洁系统，配备的工艺模块在 TEL 提供的 NS300+ HT 中具有经过验证的可靠性和稳定性记录，旨在实现更高的生产率。该设备最多可配备8个旋转模块，每小时可实现高达1,000片晶圆的吞吐量（与传统设备相比为200%），同时，用于下一代器件清洗的传输功能可以在不降低生产率的情况下，防止晶圆之间的污染（这是下一代器件清洗的问题之一）。
通过改进双流体喷雾（AS2：雾化喷雾2）和刷子技术，这些技术在之前的型号中得到了良好的记录，即使在下一代设备制造中，我们也实现了各种高生产率的洗涤器清洁工艺。

NS300Z 吞吐量

NS300Z节能

NS300+ 200mm Conversion 是一款兼容 200mm/150mm 的洗地机清洁设备，配备的工艺模块在 TEL 提供的 NS300+ HT 中拥有经过验证的可靠性和稳定性记录，并融入了下一代 300mm 设备的清洁工艺技术。该设备最多可配备8个旋转模块，每小时可实现高达500片晶圆的吞吐量（与之前的机器相比提高340%），同时以高可靠性输送各种类型的晶圆，实现高生产率。
使用全配方控制双流体喷雾（AS2：雾化喷雾2）和刷子技术，我们为传统节点设备实现了高洗涤器清洁和节省时间的过程，这些设备对稳定性和可靠性的技术要求不断提高。

清洁时间（配方时间）和吞吐量（wph）趋势

NS300+ HT 是一款洗地机清洁设备，继承了前代型号 NS300+ 卓越的可靠性和稳定性理念，并经过改进以实现更高的生产率。该设备与之前的型号一样配备了多达 8 个旋转模块，每小时的吞吐量高达 500 张（与之前的型号相比增加了 150% 以上），同时占地面积也与之前的型号相同。

NS300是兼容300mm晶圆工艺的洗涤器设备。它能够清洗晶圆的正面和背面，并拥有多年经验积累的高可靠性。清洗时可采用刷洗和双液喷雾AS2清洗，同时使用将进一步减少损坏。