taptap点点蚀刻Episode™ UL 系列

发布日期：2020 年灵活选择 12 个腔室，业内最大

Episode™ UL 系列最多可灵活选择 12 个腔室，节省空间，提高可维护性，并具有 TEL 独特的智能工具功能，帮助客户提高生产力。它平衡了工艺性能和高生产率，支持多功能并加速设备演进。

剧集™ UL

Episode™ UL 是一个平台，可通过灵活选择腔室数量、节省空间、提高可维护性和智能化来帮助客户提高生产效率。
TEL是水平对置设计腔室的先驱，以追求节省空间，但Episode™ UL可以灵活选择腔室的安装数量，从4个腔室到12个腔室，以实现对客户Fab布局的灵活响应。此外，即使将安装的最大腔室数量增加到12个，水平相对的设计也可以显着减少洁净室区域和公用区域中每个单元腔室的占地面积。此外，与传统产品相比，通过增加工作空间，维护性也得到了提高。此外，通过在运输系统和工艺模块中安装多个传感器和高速控制系统，可以利用TEL独特的智能工具功能监控设备运行和工艺状态，通过大数据分析进行自主工艺控制。
Episode™ UL 提供更高的处理性能和可扩展性，推动现代逻辑和存储设备的发展。

另请观看剧集 UL 的介绍视频。
网址：https://youtube/wHeXV70whAs

提供灵活数量的腔室

追求节省空间

使用智能工具功能

系列比较

	剧集™ UL	塔克特拉斯™	Certas LEAGA™
晶圆尺寸 (毫米)	300	300	300
可用性	新	新	新
腔室数量	1-12	1-6	1-6
申请	电介质，导体，反应离子蚀刻	电介质，导体，反应离子蚀刻	电介质，化学干蚀刻
基材	硅	硅	硅
安全	S2、CE	S2、CE	S2、CE