taptap点点 开始销售 300mm 晶圆镀膜和显影设备 CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro DICE™ 的通知

Tokyo Electron（电话，东京港区，总裁：Toshiki Kawai）很高兴地宣布推出 CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro DICE™，这是一款 300mm 晶圆镀膜和显影系统。

十多年来，我们一直向市场提供具有独特产品理念的 LITHIUS Pro™ Z 涂布/显影设备，为尖端半导体的大规模生产做出了贡献。我们最近发布了新的 LITHIUS Pro DICE™，可利用 EUV 曝光实现超精细图案化，这对于半导体的未来发展是必要的。该设备配备创新的缺陷控制技术，比传统产品缺陷率减少50%^*1而引起的缺陷和成本。此外，通过最大限度地提高洁净室占地面积的效率以及业界最快的涂层和显影工艺，与传统方法相比，生产率和环境绩效提高了 25% 以上。^*2向上させています。此外，它还具备通过收集设备数据并强化处理这些数据的信息处理系统来提高设备运转率和工程工作效率的功能。因此，我们建立了一个系统，可以实现各种半导体器件的广泛高效生产，包括尖端逻辑、DRAM 和 NAND。

Tokyo Electron CTSPS BUGM Yasuhiro Washio 表示：“LITHIUS Pro DICE™ 结合了世界一流的生产力和高性能缺陷控制技术，是一款可以处理从 EUV 工艺（包括高 NA）到 DUV 工艺的广泛应用的器件。为了持续满足客户需求，我们将努力继续技术开发并扩展我们的工艺模块，为器件的发展做出贡献。”

因此，LITHIUS Pro DICE™ 旨在提供高附加值的半导体制造工艺，并将继续通过技术创新确立自己的行业领导者地位。

我们的估算：与传统设备的缺陷性能和化学品消耗比较

我们的计算：与传统设备的吞吐量、占地面积和功率排量的比较

LITHIUS、LITHIUS Pro 和 LITHIUS Pro DICE 是 Tokyo Electron Group 在日本和其他国家/地区的注册商标或商标。