taptap点点 清洁设备 CELLESTA™ MS2 开始销售通知

　东京威力科创（TEL，东京都港区，社长：河合敏树）是清洁设备CELLESTA^™谨此通知您，我们将开始销售 MS2。

　CELLESTA系列单晶圆清洗设备广泛应用于半导体制造的清洗工艺。新推出的CELLESTA MS2是一款配备双流体喷雾和刷子物理清洁功能的清洁设备。通过实现同时双面加工，该设备实现了比传统产品更高的生产率。双面加工时单位面积的生产率是传统设备的15倍以上（与我们公司相比）。同时，通过消除传统上用于在清洁过程中保护未清洁表面的纯水和气体的使用，也有助于减少过程中的功耗。此外，TEL独特的晶圆固定技术可以清洁晶圆的最外周和斜面区域，这在过去一直是一个问题，并提供了尖端半导体制造所需的颗粒控制。
 

Tokyo Electron 执行官兼 CTSPS BUGM Yasuhiro Washio 表示：“CELLESTA MS2 通过高效的双面处理极大地提高了单位面积的生产率，有助于减少占地面积。此外，它还通过降低功耗实现了高生产率和降低运行成本。
 

^＊CELLESTA 是东京电子集团在日本和其他国家的注册商标或商标。