taptap点点 开始销售 Tactras™-UDEMAE™（一种用于 300mm 功率器件的蚀刻系统）的通知

Tokyo Electron（电话，东京港区，总裁：Toshiki Kawai）很高兴地宣布开始销售 Tactras™-UDEMAE™，这是一种用于 300mm 功率器件的蚀刻系统。


　Tactras-UDEMAE 是一种等离子蚀刻系统，可将我们用于功率器件制造的等离子反应器*（在 200mm 晶圆市场拥有业界最大的交付记录）扩展到 300mm 晶圆，并安装在 Tactras 平台上，该平台在 300mm 晶圆工艺中拥有高可靠性和高生产率的良好记录。基本思想是，为200mm晶圆开发的工艺库可以用于300mm晶圆，并且增加了一项新功能，以防止晶圆斜角产生灰尘，这对于制造分立功率器件至关重要。通过控制晶圆温度、反应器内压力、气体流量和RF（射频，高频电源）等各种条件的平衡，现在即使在300mm晶圆上也可以进行均匀蚀刻。


　东京电子执行官兼 FS BUGM Tetsuya Nakahara 表示：“随着汽车等通用半导体需求的增加，对功率半导体和分立半导体制造设备的需求也在增加。其中，有助于提高生产率的蚀刻技术的重要性甚至在该领域也日益增加。拥有多次交付记录的 Tactras 拥有世界上最高的传输速度和占地面积。通过在该平台上配备新开发的用于300mm功率器件的等离子体反应器，我们将能够提供大幅提高生产率的技术解决方案。我们将继续努力开发和提供有助于满足客户需求的技术解决方案。

等离子体反应器：利用所产生的等离子体的特性进行蚀刻等的反应室或装置。

Tactras 和 UDEMAE 是 Tokyo Electron Group 在日本和其他国家/地区的注册商标或商标。