taptap点点 用于平板显示器的第八代等离子蚀刻系统 PICP™ Pro 开始销售的通知

　Tokyo Electron（东京都港区电话，总裁：Toshiki Kawai）很高兴地宣布，将开始销售第 8 代*玻璃基板兼容等离子蚀刻设备的“Impressio™ 2400 PICP™ Pro”，该设备配备了用于高清工艺的新型室 PICP™ Pro。

　在第8代显示器的制造中，主要用于IT产品和大型电视，需要对大面积玻璃进行使用高密度和均匀等离子体的蚀刻处理。 OLED 等高清、高附加值显示器的尺寸越来越大，需要对制造设备进行更严格的控制，以比以往减少颗粒和其他因素。

　为了满足这些市场需求，我们通过增加等离子模块PICP Pro的尺寸，开发了第8代PICP Pro，该产品在第6代中拥有良好的销售记录，并实现了成品率和量产稳定性的提高。除了专有的 PICP 高密度等离子体源提供的高精度蚀刻性能外，还可以控制等离子体生成区域的新功能可抑制影响维护周期和产量的颗粒的生成，从而比传统 PICP 降低运行成本。

　Tokyo Electron FPD BU总经理 Hiroshi Ishida 表示：“2021 年 3 月发布的第 6 代 PICP Pro 已经受到许多客户的好评。随着人们对新型显示器的兴趣增加以及对第 8 代的投资增加，我们将继续开发第 8 代 PICP Pro 以满足客户需求。除了先进的精细蚀刻之外，我们还开发了 Pro，它实现了更高的良率，并为尖端的显示器制造做出了贡献。”

　TEL将继续根据市场需求提供有效的技术和创新的解决方案。

第八代：2160×2400、2200×2500、2250×2610、2290×2620（单位：毫米）

“Impressio™ 2600 PICP™ Pro”、“Impressio™ 2650 PICP™ Pro”和“Impressio™ 2700 PICP™ Pro”也有资格出售。

PICP 和 Impressio 是东京威力科集团在日本和其他国家的注册商标或商标。