taptap点点 兼容 300mm 的下一代晶圆探针台 Prexa™ 开始销售通知

　Tokyo Electron（电话，东京港区，总裁：Toshiki Kawai）很高兴地宣布，它将开始销售 300mm 兼容的下一代晶圆探针台 PrexaTM，作为 300mm 兼容晶圆探针台 PrecioTM 系列的后继型号。

　由于信息通信技术的推动和社会数字化转变的推进，半导体的需求随着应用领域的扩大而不断增加，对半导体制造设备的技术要求也不断提高。除了小型化技术外，三维堆叠技术也受到关注，并且随着结合多种不同类型器件的先进封装技术的进步，在晶圆测试过程中确保KGD*变得很重要，并且需要晶圆探针仪的更高功能。

　Prexa是一款晶圆探针台，继承了Precio系列的许多技术，并配备了新的先进功能和特性，例如减少错误辅助和扩展自动化功能，实现了比传统Precio系列更高的生产率。 Prexa平台还可以实现最近备受关注的器件测试期间的温度控制以及存储器的高负载阶段控制。

Prexa 功能和特点：
·各种设置等操作的自动化
·配备最新光学系统和新算法，减少辅助误差，实现高精度接触
·探针卡针尖和探针标记的高速检测功能
·进一步增强客户响应能力的软件结构

　 Tokyo Electron ATS BUGM Yohei Sato 表示：“随着半导体器件变得越来越小，集成多种不同类型器件的先进封装技术的引入正在加速，晶圆测试在测试过程中的重要性也日益增加。Prexa 将提供高生产率和先进功能，以满足客户的各种需求。”

　TEL将继续根据市场需求提供最好的产品和最好的技术服务。

KGD：已知良好模具。裸芯片（bare die）的俗称，指未密封在IC封装内、保证无缺陷的裸芯片（bare die）。

Precio 和 Prexa 是东京威力科集团在日本和其他国家的注册商标或商标。