taptap点点 开始销售用于高清平板显示器的 PICP™ Pro 等离子蚀刻系统的通知

　Tokyo Electron（东京港区电话，总裁：Toshiki Kawai）宣布推出配备新型室 PICP™* Pro 的“Impressio™ 1800 PICP™ Pro”和“Betelex™ 1800 PICP™”，适用于第六代（1500 x 1850 mm）玻璃基板兼容等离子蚀刻设备的高清工艺。我们想通知您，我们将开始销售“Pro”。

　在主要用于智能手机的第六代显示器中，高清 OLED 越来越受欢迎，同时预计还会有进一步的技术创新，例如更低的功耗和更高的用户界面功能。实现这些技术创新需要高密度电路图案，这需要比以往更严格的制造设备管理。

　为了满足这些市场需求，TEL开发了PICP Pro，它不仅具有使用专有的PICP™高密度等离子体源的高精度蚀刻性能，而且还具有允许您控制等离子体生成区域的新功能。配备新功能，可以抑制影响维护和产量的颗粒的产生，并且与传统PICP相比可以降低运行成本。

　Tokyo Electron FPD BUGM Hiroshi Ishida 表示：“虽然许多客户在其大规模生产线上使用 PICP，但我们听取了来自各个站点的意见。 PICP Pro是为了满足这些新需求而经过反复试验而开发的设备。除了先进的微蚀刻之外，它还实现了更高的良率，将为尖端显示器制造做出贡献。''

TEL将继续根据市场需求提供有效的技术和创新的解决方案。

PICP：在面板基板上产生极其均匀的高密度等离子体的等离子体模块

PICP、Impressio 和 Betelex 是东京威力科集团在日本和其他国家/地区的注册商标或商标。