taptap点点 针对下一代蚀刻设备推出 Episode™ UL 平台的通知

　Tokyo Electron（电话，东京都港区，总裁：Toshiki Kawai）很高兴地宣布开始销售新一代蚀刻设备平台 EpisodeTM UL。

　Episode UL 是一个平台，通过允许灵活选择腔室数量、节省空间、提高可维护性和智能化来帮助客户提高生产力。

　　　TEL 是追求空间节省的水平相对式腔室设计的先驱，但 Episode UL 允许您灵活选择腔室安装数量（从 4 个腔室到 12 个腔室），以便灵活应对客户的 Fab 布局。此外，即使将安装的最大腔室数量增加到12个，水平相对的设计也可以显着减少洁净室区域和公用区域中每个单元腔室的占地面积。此外，与传统产品相比，通过增加工作空间，维护性也得到了提高。此外，通过在运输系统和过程模块中安装多个传感器和高速控制系统，可以利用TEL独特的智能工具功能通过大数据分析实现自主过程控制。

　Tokyo Electron 执行官兼 ES BUGM Isamu Wakui 表示：“Episode UL 提供有助于提高客户生产力的技术解决方案，具有尖端的小型化和智能技术。我们将继续努力开发技术并扩大我们的产品阵容，以应对更具挑战性的问题。”

另请观看剧集 UL 的介绍视频。

Episode 是东京电子集团在日本和其他国家的注册商标或商标。