东京电子、富士金和 TMEIC 开发了一种新型臭氧气体浓度监测仪，并将其部署到臭氧发生器

　东京电子株式会社（以下简称东京都港区 TEL，社长：河合俊树）、富士金株式会社（以下简称大阪府大阪市北区富士金，社长：田中恒）、TMEIC 株式会社（以下简称 TME IC（东京都中央区，社长：川口晃）这 3 家公司开发了一种控制臭氧气体浓度的新型监测器。半导体制造工艺的成膜工艺，并将对其在臭氧气体发生器中的应用（实施）进行验证。
　此次联合开发是 TEL 推动的 E-COMPASS 供应链计划的一部分。

背景
　臭氧气体在半导体制造工艺的成膜过程中用于形成各种氧化膜，需要臭氧气体发生器和臭氧气体浓度监测器来监测其产生状态。测量臭氧气体浓度的一种方法是“紫外线吸收法”，它利用臭氧强烈吸收紫外线区域波长的特性。该方法的光源传统上是汞紫外线灯，含有有害物质，需要定期更换*¹。
　为了解决这些问题，TEL、Fujikin 和 TMEIC 开始共同开发无汞、免维护的臭氧气体浓度监测仪和臭氧气体发生器。

新型臭氧气体浓度监测仪的要点和特点
1。我们开发了 LED 紫外线灯型浓度监测仪，其性能比传统产品具有更高的可靠性。
2。由于它不使用汞，因此不含对环境有害的物质。
3。此前，灯具必须每两年更换一次，但由于LED灯具的使用寿命更长，超过10年不再需要更换。这使得免维护。
4。通过改用 LED，功耗从 25W 降低至 3W（与传统型号相比降低 88%）。这是二氧化碳₂换算为每台显示器每年 771 千克二氧化碳₂e*²

新型臭氧浓度监测仪

环境价值：二氧化碳₂减少电子排放和运行成本
　新开发的新型臭氧气体浓度监测仪不仅应用于半导体制造设备，还应用于臭氧气体发生设备。预计五年内对臭氧气体发生器的需求将是当前市场规模的两倍，通过使用这种新型臭氧监测仪，CO₂e 排放量为 310 吨二氧化碳₂e减少和灯泡更换成本预计将减少约1亿日元。

三公司环保技术共创
　在本次环保技术共创中，富士金与我公司共同开发了臭氧气体浓度监测仪，TMEIC将其安装在臭氧气体发生器中并对该监测仪进行了验证。这使得它可以应用于我们的半导体制造设备和辅助设备等各种领域。

　为了实现社会的数字化和绿色化，这将成为未来全球的主要趋势，我们将促进与合作伙伴公司的合作，实现不含对环境有害物质的设备，并开发积极的设备环保技术。通过这些活动，我们将追求“以尖端技术和可靠的服务为发展充满梦想的社会做出贡献。”的基本理念。

[参考]
“E-COMPASS”供应链倡议，强化环保举措